【资料图】
投资要点：
1.半导体工艺控制设备作为芯片制造良率的关键，对芯片制造至关重要。
2.半导体工艺控制设备市场分为缺陷检测和量测两大类，其中缺陷检测设备占据市场主流，市场结构为缺陷检测设备占比62.6%，量测设备占比33.5%。
3.全球龙头KLA独占半壁江山，其他主要国际厂商中，AMAT、ASML、OntoInnovation、Lasertec、新星测量（Nova）和Camtek等各有特色。
4.国产半导体工艺设备公司均基于自身技术优势布局相关产品线，进展显著，从各自覆盖产品市场空间上看，中科飞测/上海精测/睿励仪器/东方晶源/上海微电子各自的SAM比例分别为27.2%/51.5%/20%/13.9%/6.3%。
5.建议关注核心国产半导体工艺控制设备厂商：精测电子(300567)、中科飞测和中微公司(688012)。
6.风险提示：设备验证和国产化推进不及预期；下游晶圆厂扩产及招标不及预期；中美科技博弈影响上游供应链；市场空间/市占率等测算基于我们所做的关键参数假设可能存在误差。
